溅射离子泵在直线加速器上的应用体会

On the application of splash ion pump to a linear accelarator

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摘要介绍了溅射离子泵的工作原理及其对N2、O2、H2和惰性气体的排气机理，采用开槽阴极、增加一个离子收集极、泵内阴极做成蜂窝形对其结构加以改进，对高压电源、泵内真空度的估计、寿命、起动、清洗情况进行了说明，并给出了更换离子泵的注意事项及应用体会。

作者牟志坚陈渝

机构地区第三军医大学新桥医院肿瘤中心

出处《中国设备管理》 2001年第3期24-25,共2页

关键词溅射离子泵直线加速器医用抽空设备

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中国设备管理

2001年第3期

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