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大数值孔径微透镜阵列激光扫描 被引量:3

Laser Scanning System with Large Numerical Aperture Microlens Arrays
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摘要 提出微透镜阵列与转镜相结合的大口径激光光束扫描方法。采用机械制模法制作微透镜阵列模板 ,然后采用模压法制作光学微透镜阵列 ,其子口径为 2 mm× 2 mm,数值孔径为 0 .2 ,阵列数为 8× 8。并进行了扫描测试实验 ,扫描角达± 6.56°。 A large aperture laser beam scanning method that combines microlens arrays and rotating mirror is put forward. The microlens arrays model is first fabricated with mechanical moulding method and then the optical microlens arrays are fabricated by using of model pressing. Its sub-aperture is 2 mm×2 mm, numerical aperture is 0.2 and array number is 8×8. The scanning testing experiments are first carried out and the scanning angle is up to ±6.56°.
出处 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期1-3,共3页 Opto-Electronic Engineering
关键词 微透镜阵列 激光扫描 数值孔径 Laser beams Lasers Microlenses Mirrors
  • 相关文献

参考文献1

  • 1王本,激光扫描和光盘技术,1990年

同被引文献22

  • 1麦志洪,易新建,赵兴荣.硅微透镜阵列[J].半导体光电,1996,17(2):137-140. 被引量:4
  • 2徐超,金伟其,李雅琼.光学微扫描器技术及其实现方式[J].红外技术,2006,28(6):338-342. 被引量:15
  • 3黄鹰,向思桦,陈四海,赖建军,易新建.微型光扫描器研究[J].红外与毫米波学报,2007,26(1):26-29. 被引量:6
  • 4TOTSU K, FUJISHIRO K, TANAKA S, et al. Fabrication of three dimensional microstrueture using maskless grayseale lithography [J]. Sensors and Actuators: A, 2006, 130/131: 387 - 392.
  • 5CHANG S I, YOON J B. Shape-controlled, high fill-factor microlens arrays fabricated by a 3D diffuser lithography and plastic replication method [J]. Optics Express, 2004, 12 (25): 6366-6371.
  • 6WANG Z Z, ZHAO G Y, ZHANG W H, et al. Low-cost micro-lens arrays fabricated by photosensitive sol-gel and multi-beam laser interference [J]. Photonics and Nanostruc- tures, 2012, 10 (4): 667-673.
  • 7KING C R, LIN L Y, WU M C. Out-of-plane refractive micro- lens fabrication by surface micromachining [J]. IEEE Photo- nics Technology Letters, 1996, 8 (10) : 1349- 1351.
  • 8YANG R, WANG W J. Out-of-plane polymer refractive micro- lens fabricated ased on direct lithography of SU - 8 [J]. Sensor and Actuators: A, 2004, 113 (1): 71 -77.
  • 9庄思聪,朱瑞兴.一种制作微透镜阵列的方法[J].上海师范大学学报(自然科学版),1997,26(2):33-37. 被引量:1
  • 10陈祥献.光刻热熔微透镜阵列的电铸成形复制技术研究[J].仪器仪表学报,1998,19(1):56-60. 被引量:4

引证文献3

二级引证文献4

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