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单晶炉提拉速度控制系统

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摘要设计并分析了一种实用的、在极低转速下实现无级调速的单晶炉提拉速度控制系统。

作者刘勤贤陈祥华

机构地区浙江工业大学之江学院

出处《电工技术》 2001年第4期22-23,共2页 Electric Engineering

关键词单晶转生产过程单晶炉提拉速度控制系统

分类号 TN304.12 [电子电信—物理电子学]

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电工技术

2001年第4期

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