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用硼酸钡(BBO)产生铜蒸气激光的二次谐波

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摘要 1.引言铜蒸气激光器是一种具有510.6nm和578.2nm二条振荡谱线的高效率、高重复频率的金属蒸气激光器。因此,可应用二次非线性光学效应,成为高重复频率的紫外光源。248nmKrF准分子激光,被认为是下一代光刻技术的有效光源。但是为消除色(象)
作者 侯印春
出处 《国外激光》 CSCD 1991年第9期26-28,共3页
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