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中国首个自主研发的硅压力传感器即将量产

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摘要中国首个自主研发的高精度硅压力传感器即将在福州量产。据福建上润精密仪器有限公司（以下简称“上润公司”）透露，该公司牵头的高精度硅压力传感器技术研究与产业化开发项目，获国家高技术研究发展计划（简称863计划）立项。该项目将打破国际技术壁垒，为国家工业安全奠定基础。

机构地区 CSIA

出处《中国集成电路》 2014年第5期1-1,共1页 China lntegrated Circuit

关键词硅压力传感器自主研发中国传感器技术产业化开发 863计划精密仪器技术壁垒

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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中国集成电路

2014年第5期

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