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智能化介质薄膜测厚仪的硬软件设计
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摘要
本文介绍了含8031单片机的介质薄膜测厚仪的组成、硬件电路和软件设计,并对脉宽测量的误差进行了分析。
作者
吴之中
翁拨炎
李焯
董红兵
出处
《广东民族学院学报》
1991年第4期62-68,共7页
关键词
介质薄膜
测厚仪
单片机
硬件
软件
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
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