同步辐射光刻用光束线
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2田扬赵,洪义麟,付绍军,阚娅,陶晓明,胡一贯.深度同步辐射光刻研究[J].科学通报,1995,40(1):83-85.
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3郭从良,刘同怀,王荣生.同步辐射光刻均匀性最优控制[J].核电子学与探测技术,2000,20(1):37-39.
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5李鹏,胡和平,闫陇刚,邓德荣,单李军.CAEPXFEL波荡器束线初步物理设计[J].强激光与粒子束,2015,27(4):266-269. 被引量：1
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6田扬超,傅绍军,洪义麟,阚娅,陶晓明.深度同步辐射光刻初探[J].光学学报,1994,14(4):447-448. 被引量：2
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7陈大鹏,叶甜春,谢常青,李兵,董立军,胥兴才,赵玪莉,韩敬东,彭良强,伊福庭,韩勇,张菊芳.同步辐射光刻技术研究进展[J].核技术,2002,25(10):817-821. 被引量：4
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8刘同怀,郭从良,王荣生.集成电路同步幅射光刻镜扫描控制系统[J].光学技术,2000,26(2):179-180.
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99产品名称：90—65nm大角度离子注入机[J].电子工业专用设备,2016,0(2):49-50.
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10郭从良,王荣生,刘同怀.集成电路光刻镜扫描控制系统[J].光电子技术与信息,1999,12(6):8-10.
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