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一种并行共焦系统位移平台的设计

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摘要 介绍了一种并行共焦系统高精密微位移平台的设计,阐述了如何通过精密进给控制对系统平台进行高精密移动,通过这种位移方法可以提高这种平台的位移精度,同时介绍了其核心部件弹性导轨的设计,测量结果表明位移平台的设计达到设计要求。
作者 高晓斌
出处 《黑龙江科技信息》 2013年第30期78-78,共1页 Heilongjiang Science and Technology Information
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