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马来酰亚胺——苯乙烯共聚物类型的光刻胶
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摘要
近几年用马来酰亚胺—苯乙烯共聚物作为粘合刑及活性物的光刻胶体系有很多研究。本文综述了这方面的研究进展。
作者
陈兆斌
沈国妙
机构地区
山西大学
太原师专
出处
《感光材料》
北大核心
1991年第1期24-27,共4页
关键词
光刻胶
马来酰亚胺
苯乙烯
聚合物
分类号
TQ436.9 [化学工程]
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