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国外金刚石薄膜的合成技术

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摘要一、前言众所周知,金刚石具有:很高的硬度;耐磨;抗席蚀;它的绝缘性能和热传导度都很高;以及在光学上具有很高透明度和折射率等一系列优良性能。自古以来,人们用它作为装饰品的宝石,在工业上,也具有十分重要的应用价值。但是。

作者潘俊德徐重范本惠古风英郑维能

机构地区太原工业大学离子渗金属及热处理研究所

出处《国外金属热处理》 1989年第4期10-20,共11页 Heat Treatment of Metals Abroad

关键词金刚石薄膜合成 CVD法 PVD法

分类号 TQ164.8 [化学工程—高温制品工业]

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国外金属热处理

1989年第4期

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