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浅谈离子注入机的维护被引量：3

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摘要本文对半导体生产中用到的离子注入机进行了简单的介绍,对离子注入机使用过程中可能遇到的各类故障加以归类,并结合一些实际维修过程中遇到的故障现象来分析探讨。

作者何科峰

机构地区中国电子科技集团公司第四十八研究所

出处《中国科技信息》 2013年第18期137-137,共1页 China Science and Technology Information

关键词离子注入机故障剂量真空

分类号 TN305.3 [电子电信—物理电子学]

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2013年第18期

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