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FPA—2000i1型i线步进机

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摘要 FPA—2000il型i线步进机是日本佳能公司生产的用于16MDRAM批量生产的机型。该装置配备了数值孔径为0.52、曝光面积为加20mm见方的i谱线透镜。16MDRAM的设计规范约为0.5μm。FPA一2000il型机具有0.5μm的分辨率,是满足0.5μm工艺时代的大数值孔径i线步进机。

作者郑国强

出处《电子工业专用设备》 1991年第3期57-61,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词 LSI 光刻 i线步进机曝光透镜

分类号 TN470.57 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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电子工业专用设备

1991年第3期

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