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超纯化学剂的探索

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作者 Iscoff,R 文汉

出处《电子材料（机电部）》 1991年第11期1-7,共7页

关键词 ULSI 芯片工艺化学剂纯化

分类号 TN470.52 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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电子材料（机电部）

1991年第11期

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