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化学量传感器

Chemical Sensors
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摘要 pH-ISFET的特性参数可分为电学和电化学特性参数两大类。 一、电学特性及参数 ISFET虽有其特殊性,但仍然是场效应晶体管,与MOSFET所不同的只是它没有金属栅,其被测液代替了MOSFET的金属栅。凡需施加栅压的测试,必须采用参比电极经溶液给栅介质和半导体的表面施加电场。除此之外,从场效应原理上讲并无本质的差别,因此有关MOSFET特性参数的概念均可予以借鉴。
机构地区 哈尔滨工业大学
出处 《传感器技术》 CSCD 1991年第1期56-62,共7页 Journal of Transducer Technology
  • 相关文献

参考文献1

  • 1王贵华,虞惇,王跃林.氢离子敏场效应晶体管工作机理及其界面电势差温度特性的探讨[J]半导体学报,1988(03).

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