电感耦合RF等离子体增强磁控溅射放电的离子能量分布
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10于湘,俞志东,程丽华,潘奇.装载锌/钼酸盐缓蚀剂的水滑石纳米容器的防腐性能[J].电镀与涂饰,2013,32(1):72-75.
