期刊文献+

第十八讲 真空蒸发镀膜

原文传递
导出
摘要 (接2013年第1期第96页) 残余气体分子撞击着真空室内的所有表面,包括正在生长着的膜层表面。在室温和104Pa压力下的空气环境中,形成单一分子层吸附所需的时间只有2.2S。
作者 张以忱
机构地区 东北大学
出处 《真空》 CAS 2013年第2期79-80,共2页 Vacuum
  • 相关文献

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部