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第十八讲 真空蒸发镀膜
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摘要
(接2013年第1期第96页) 残余气体分子撞击着真空室内的所有表面,包括正在生长着的膜层表面。在室温和104Pa压力下的空气环境中,形成单一分子层吸附所需的时间只有2.2S。
作者
张以忱
机构地区
东北大学
出处
《真空》
CAS
2013年第2期79-80,共2页
Vacuum
关键词
真空蒸发镀膜
气体分子
空气环境
分子层
表面
撞击
时间
吸附
分类号
O484 [理学—固体物理]
TB4 [一般工业技术]
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