摘要
提出了用灰阶编码的二元掩模代替灰阶掩模实现邻近效应精细校正的新方法 ,并阐述了新方法的特点。讨论了灰阶编码掩模与灰阶掩模的等效关系 ,给出了灰阶编码掩模实现光学邻近效应校正的模拟结果 ,校正后的综合面积偏差比校正前减少了 10 %。
A new method has been proposed to realize fine optical proximity correction (OPC) with gray tone coding mask instead of gray tone mask. The advantages of the new method are analyzed. The coding rules of the gray tone coding mask and the relationships between the gray tone coding mask and gray tone mask have been discussed. OPC simulation results are given with the gray tone coding mask and the synthesis area deviation of aerial image drops 10% after OPC.
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第4期518-524,共7页
Acta Optica Sinica
基金
国家自然科学基金!(6 990 70 0 3)
教育部博士点基金
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室资助课题
