离子注入非晶碳薄膜的SEM研究

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作者薛群基徐洮吕晋军杨生荣

机构地区中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点开放实验室

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第4期595-596,共2页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基金国家自然科学基金资助项目! (5 970 2 0 0 1)

关键词离子注入非晶碳薄膜 SEM 表面微观结构

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]

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