摘要
以高质量的 Li Nb O3 晶体为衬底 ,采用离子注入技术制备出低损耗的 Li Nb O3光波导。测试了其背散射谱 ,并对相应的结果做了分析 。
Low loss LiNbO 3 optical waveguide fabricated by ion implantation technology on high quality LiNbO 3 crystal is reported, and its scattering spectrum is measured and analyzed. A feasible way is provided for solving transverse diffusion of optical waveguide.
出处
《长春邮电学院学报》
2000年第2期5-7,共3页
Journal of Changchun Post and Telecommunication Institute
基金
国家自然科学基金资助项目 !( 6950 80 0 5)
关键词
离子注入
介质光波导
退火
Ion implantation
Dielectric optical waveguides
Annealing
