高压台面功率晶体管的工艺分析被引量：2

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摘要本文给出了高压台面功率晶体管工艺分析,不仅为器件的工艺设计提供了依据,而且明确地指出了影响器件制造成品率的主要因素。

作者孔德平周荣勋

机构地区东南大学电子工程系宜兴市半导体厂

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1991年第6期42-44,共3页 Semiconductor Technology

关键词台面功率晶体管工艺

同被引文献7

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半导体技术

1991年第6期

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