铝溶胶成膜性能和在半导体InP上的应用研究

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摘要本文介绍了制备铝溶胶的三种不同方法;讨论了旋转涂胶法制备氧化铝薄膜的过程以及相应的表面特性。

作者刘锦淮

机构地区中国科学院合肥智能机械研究所

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1991年第1期36-38,共3页 Semiconductor Technology

关键词半导体材料氧化铝铝溶胶薄膜

1一种合成热稳定性钛酸铝的工艺方法[J].无机盐工业,2006,38(6):54-54.
2于群,李建宇.稀土配合物有机电致发光材料的研究进展[J].中国照明电器,2003(3):1-5. 被引量：2
3范有余,李日红,张龙.Preparation and optical properties of a Rhodamine 6G-doped sol-gel AlPO_4-SiO_2 film[J].Chinese Optics Letters,2013,11(8):100-102.
4王江洪,沈玉全,周家云,赵榆霞.几种二缩水甘油醚包层材料的合成及成膜性能[J].化学通报,2000,63(4):35-38. 被引量：5
5袁继兵,李嘉航,梁万里,苏树江,石建新,龚孟濂.三种新的铕(III)三元配合物的合成及发光性质研究[J].化学学报,2004,62(22):2282-2286. 被引量：13
6廖建辉,吴仲岿,葛存旺,虞伟,徐丽娜,陈坤基,顾宁.二维金纳米微粒有序阵列的制备[J].东南大学学报（自然科学版）,2003,33(4):471-474. 被引量：1
7黄汉生.氟聚合物分散体方面的进展[J].有机氟工业,2005(2):52-55.
8汤丽娟,储向峰,董永平,吴芳辉,白林山.阴离子对铜化学机械抛光的影响[J].微纳电子技术,2011,48(9):596-599. 被引量：2
9谭松庭,赵斌,肖尊宏,姜忠民,王霞瑜.2-甲基-8-羟基喹啉-丙烯酸-镓(Ⅲ)与甲基丙烯酸甲酯共聚物的合成与表征[J].高分子学报,2003,13(4):519-524. 被引量：3
10王贵宾,王东,姜振华,陈春海,张万金,吴忠文.含氟聚芳醚酮的合成与性能研究[J].高等学校化学学报,2001,22(6):1053-1056. 被引量：7

半导体技术

1991年第1期

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