用非接触位移计测定大品径硅片
-
1徐继文.基于视觉传感器的信号提取及处理[J].电测与仪表,1999,36(5):38-40.
-
2李建军,章恩耀,田芊.半导体激光器线性调频技术在光纤位移传感器中的应用[J].仪器仪表与分析监测,1995(3):15-17.
-
3金田一.高精度激光位移计[J].国外计量,1992(3):16-19. 被引量:1
-
4冉蜀阳.基于光电轴角编码器设计的绝对位移检测数显装置[J].机械与电子,1991(2):23-25.
-
5邹红波,梁大开,曾捷,穆昊,周丽.基于级联长周期光纤光栅的光纤布拉格光栅振动传感器的动态解调[J].中国激光,2011,38(8):161-165. 被引量:10
-
6段元锋,姜平安,叶贵如,周青松.应用数字散斑相关法测量结构振动位移和频率[J].公路交通科技,2011,28(6):75-82. 被引量:5
-
7王俊杰,付晓红,姜德生,张丰涛.差动式光纤光栅位移计及其温度特性的研究[J].武汉理工大学学报,2007,29(12):112-115. 被引量:7
-
8芦吉云,梁大开,刘如梅,曾捷.光纤振动传感器波长解调方法研究[J].压电与声光,2010,32(3):349-352. 被引量:1
;