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MEMS高量程加速度传感器的动态特性分析 被引量:14

Dynamic Characteristic Analysis of MEMS High-Range Accelerometer
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摘要 利用霍普金森杆激光干涉冲击试验台对实验室研发的MEMS高量程压阻式加速度传感器进行动态校准;采用两种不同解算方法对实验数据将进行分析处理,求解出该传感器的幅频特性,绘制了对数幅频特性曲线;通过对比两种算法的结果知道,镜像映射法优于FFT算法,其算法简单有效,能直接辨识出系统模型参数和模型阶次。 The Hopkinson bar laser interference shock test-bench was used to calibrate the MEMS high-range piezoresisitve accelerometer in this paper.By two different methods,the transducer ' s frequency response was concluded and the logarithm amplitude frequency characteristics curve was plotted.The results show that the mirror mapping method is superior to the FFT for that it can identify model parameter and model order simultaneously.It ' s simple and useful.
出处 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1392-1394,共3页 Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金 国防基础科研项目基金项目(A3320110004)
关键词 MEMS(微电子机械系统) 高量程加速度计 动态特性 霍普金森杆 镜像映射法 MEMS(Micro Electro-Mechanical System) high-range accelerometer dynamic characteristic Hopkinson bar the mirror mapping method
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参考文献8

二级参考文献15

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共引文献67

同被引文献82

引证文献14

二级引证文献44

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