摘要
高能量、高分辨力光学系统给传统的光学面形评价指标提出了新的要求。各项测试技术 ,信息理论的更新给我们的研究提供了可能。介绍采用
High energy,high resolution optical system put forward new demand for traditional analysis of surface profile.The updating of testing technology and information theory provides us possibility for study.We evaluate mid frequency error of optical component surface profile by power spectral density function.
出处
《光学仪器》
2000年第3期21-24,共4页
Optical Instruments
关键词
光学元件
功率谱密度函数
面形评价
optical component,power spectral density function,Fourier analysis.
