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睿励推出FSD系列自动宏观缺陷检测设备

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摘要睿励科学仪器的全资子公司睿励微电子设备（上海）有限公司（RMEC）隆重推出FSD系列自动宏观缺陷检测设备，包括适用于200mm及以下硅片的FSD200μ和适用于300mm硅片的FSD300。

出处《电子工业专用设备》 2012年第10期65-65,共1页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词检测设备宏观缺陷 SD系列微电子设备科学仪器硅片

分类号 TN304.12 [电子电信—物理电子学]

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电子工业专用设备

2012年第10期

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