阵列光波导器件对准耦合的工艺要求
摘要
精确对准耦合是阵列波导器件封装制造的关键技术,本文通过对光波导单模耦合模型的分析,研究了界面反射和几何对准偏差对模场耦合损耗的影响规律,提出了阵列波导器件对准耦合的工艺要求。
出处
《电子世界》
2012年第19期87-88,共2页
Electronics World
基金
湖南省教育厅课题11C0814资助
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