电化学微/纳米加工技术被引量：3

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摘要介绍电化学微/纳米加工技术,特别是厦门大学电化学微/纳米加工课题组建立起来的约束刻蚀剂层技术,旨在让广大师生了解这一特种加工技术,共同促进我国电化学微/纳米加工技术的研究及产业化进程。

作者张杰贾晶春朱益亮韩联欢袁野时康周剑章田昭武田中群詹东平

机构地区厦门大学化学化工学院化学系厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室

出处《大学化学》 CAS 2012年第3期1-8,共8页 University Chemistry

基金国家自然科学基金(No.91023006 91023047 91023043) 中央高校基本科研业务费专项资金(No.2010121022)

关键词微/纳米加工技术电化学微/纳米加工约束刻蚀剂层技术

分类号 O646 [理学—物理化学]

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