S360常见故障检修——枪高压部分

Service for Scanning Electron Microscope S360——GUN EHT SET

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摘要主要介绍S360电镜枪高压部分的主要结构和常见的故障。 This article introduces the some constructions, principle of S360 scanning electron microscope and the method of repair, special on the GUN EHT SET.

作者何建平

机构地区北京科技大学新金属材料国家重点实验室

出处《物理测试》 CAS 2000年第2期44-46,共3页 Physics Examination and Testing

关键词束流控制灯丝接口电子显微镜故障检修 beam control, filament, interface

分类号 TH878 [机械工程—精密仪器及机械]

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