薄膜太阳电池系列讲座(12) 硅基薄膜太阳电池(四)
被引量：1
摘要
图16为以等离子体内SiH3为生长前驱物模式的硅薄膜沉积示意图。
此模型中假设在SiH3离子落向衬底之前，表面将被H覆盖。首先SiH4在等离子体内与电子发生碰撞，（1）电子将自己的动能给予SiH4，使其分解成SiH3和H原子；（2）SiH3附着于衬底表面；
出处
《太阳能》
2012年第9期9-12,共4页
Solar Energy
同被引文献6
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