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Al-C/Al-N/Al涂层膜基结合强度工艺试验研究

Study on Bond Strength of Al-C/Al-N/Al Coating Film
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摘要 通过对Al-C/Al-N/Al太阳能选择性吸收涂层沉积工艺的研究,分析了该涂层膜基结合强度较差的原因,进行了不同沉积工艺条件下的涂层膜基结合强度、吸收率和热损试验,对试验结果进行了仔细的分析,优化确认在Al-C/Al-N/Al太阳能选择性吸收涂层沉积工艺基础上实施第N层充N2气体工艺,可以较好的提高涂层的膜基结合强度,同时保证涂层的吸收率和集热管的热损不发生明显的下降. Through the study of sedimentary technology on the Al-C/Al-N/Al solar energy selective absorption coating,the authors analyzed the reason why the film-basis bond strength is weak,and took experiments on film-basis bond strength of coating,absorptivity and thermal loss under different sedimentary conditions.After analyzing the trial results,it is confirmed that practicing the N layer and N2 air technology based on sedimentary technology on the Al-C/Al-N/Al solar energy selective absorption coating can improve the film-basis bond strength of coating,and ensure the nonoccurrence of apparent decline in coating absorptivity and thermal loss of heat collecting cubes.
作者 陈梅 王刚
出处 《佳木斯大学学报(自然科学版)》 CAS 2012年第2期247-249,共3页 Journal of Jiamusi University:Natural Science Edition
关键词 Al-C/Al-N/Al涂层 膜基结合强度 吸收率 Al-C/Al-N/Al coating film-basis bond strength absorptivity
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参考文献1

  • 1Ying Zhiqiang, G. L. Harding. Optical Properties of D.C. Re- actively Sputtered Thin Films[ J]. Thin Solid Films. 1984.

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