生产过程控制的微电流测量

下载PDF

导出

摘要由于半导体器件日趋复杂,介电层厚度和栅极长度继续缩小,在半导体生产过程的控制中,微电流测量更显得重要。以前认为无足轻重的电流测量和二级效应现已变为不可忽视。其中包括测量晶体管的关断电流,即栅极感应漏极漏电电流(GIDL)、漏极感应势垒下降(DIBL)和应力感应漏电电流(SILC)以及介质吸收效应等。

作者王绍文

出处《世界产品与技术》 2000年第4期55-57,共3页

关键词生产过程控制微电流测量漏电电流

分类号 TM933.1 [电气工程—电力电子与电力传动]

引文网络
相关文献

1应龙法.高阻抗运放CA3140E在微电流测量中的应用[J].仪器与未来,1991(10):6-6.
2冯良韬.现代变电站集控系统中继电保护技术分析[J].数字技术与应用,2015,33(5):8-8.
3曾庆冬,彭辉.PLC在电沉积生产过程中的应用[J].微计算机信息,1998,14(4):52-53. 被引量：1
4刘燕.现代火力发电机组集控运行技术分析[J].中国科技博览,2015,0(37):2-2.
5于海洋,袁瑞铭,王长瑞,杜玉蕾.微电流测量方法评述[J].华北电力技术,2006(11):51-54. 被引量：20
6于立华,刘军.PLC在工业自动化控制应用的探讨[J].中国新技术新产品,2016(1):22-22. 被引量：6
7李江.DCS系统可靠性措施的探讨[J].西北电建,1999(2):45-47.
8贾焕福.微电流测量中的噪声抑制[J].黑龙江科学,2014,5(11):253-253. 被引量：1
9陆祖光.微电流测量技术探讨[J].电测与仪表,1990,27(5):3-7. 被引量：14
10万乐.基于PLC的生产过程控制探讨[J].科技创新导报,2011,8(10):249-249. 被引量：2

世界产品与技术

2000年第4期

浏览历史

内容加载中请稍等...

生产过程控制的微电流测量

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史