摘要
综述了近年来碳纳米管在微纳传感器、纳米发电机、纳米执行器、纳米电子器件、纳米收音机与薄膜扬声器等方面取得的瞩目成果及典型应用,介绍了基于碳纳米管的微纳机电器件的制造工艺、器件性能及其研究进展,指出了碳纳米管基微纳机电器件在多元化发展、工艺多样化、材料复合化、产业化工程等方面的发展趋势。
The remarkable achievements and typical applications of carbon nanotube （CNT） used in recent years for fabricating micro/nano sensors, nano-generators, nano-actuators, nano-electronic devices, nano radios and film speakers are reviewed, and the fabrication process, devices performance and lastest progress of CNT-based micro/nano electro- mechanical devices （M/NEMDs） are introduced. The future trends in development of all-direction, diversification of fabrication, composition of material and industrialization of engineering for CNT-based M/NEMDs are illustrated.
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期71-76,共6页
Electronic Components And Materials
基金
中央高校基本科研业务费专项资金资助(No.12CX04065A)
国家级和校级大学生创新训练计划基金资助(No.111042538
No.20111084)
关键词
碳纳米管
微纳器件
综述
微纳传感器
制造工艺
纳米制造
carbon nanotube
micro/nano devices
review
micro/nano sensor
fabrication process
nano fabrication
