摘要
利用激光汇聚中性铬原子沉积出一维纳米光栅样板的基础上，基于NMM的AFM测量系统对样板进行了测试分析和测试方法研究，得到一维纳米光栅结构平均节距为212．64±0．4nm，与^（52）Cr原子共振跃迁（^7S3→^7P（4^0）的半波长（λ／2）理论值212．8nm基本一致，测试结果非常准确。文章还介绍利用NMM测量机的大范围扫描测试距离，解决了光栅样板的测试区域快速定位的问题，对研究纳米级精度测量有实用价值及参考意义。
出处
《计量技术》
2012年第2期6-9,13,共5页
Measurement Technique
基金
国家科技支撑项目“冷原子纳米尺度计量基准关键技术研究”：2006BAF06808
