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结终端扩展技术

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摘要结终端扩展（JTE）技术最早由A．K．Temple等人提出，其作用是控制高压器件的表面电场。最早的JTE为横向变掺杂技术将终端区分为多区，靠近主结的JTE区保持较高的浓度，以减弱主结电场，最外区保持较低的浓度，从而降低自身的电场强度，这种工艺难度大而且复杂，不适用于批量生产。

出处《世界电子元器件》 2012年第1期58-58,共1页 Global Electronics China

关键词扩展技术结终端表面电场高压器件掺杂技术电场强度批量生产终端区

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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