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陶瓷类厚膜敏感元件及制造工艺被引量：1

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摘要文章着重介绍了陶瓷敏感元件厚膜化的必然趋势,简述了粘结工艺的改进情况。通过对典型厚膜敏感元件的性能和工艺的介绍,近一步强调了厚膜化的优点。

作者吴伟平

机构地区国营

出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1990年第4期6-10,共5页 Instrument Technique and Sensor

关键词陶瓷厚膜敏感元件制造工艺

分类号 TN379 [电子电信—物理电子学]

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仪表技术与传感器

1990年第4期

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