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金属钯复合膜对多晶硅循环氢气纯化工业性试验取得成功

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摘要中科院大连化学物理研究所徐恒泳研究员领导的烃类选择氧化研究组（801组）和大连华海制氢设备有限公司共同研发的金属钯复合膜氢气纯化装置工作取得重要进展，在四川峨眉半导体材料研究所完成了200m3／h规模工业化示范。该技术彻底解决了多晶硅生产循环氢气中痕量和超痕量杂质难以去除的难题。

出处《现代材料动态》 2011年第9期17-18,共2页 Information of Advanced Materials

关键词氢气纯化钯复合膜中科院大连化学物理研究所多晶硅工业性试验金属硅循环痕量杂质

分类号 TQ028.8 [化学工程]

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现代材料动态

2011年第9期

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