薄膜电子陶瓷物理性质初探

Study of Physical Feature for the Thin Film Ceramic

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摘要本文应用真空物理淀积方法制备了铬酸锌湿敏陶瓷簿膜元件,并测量和分析了其物理特性,得出了一些有益的结论. This paper introduced a method of making ceramic film using the physical vacuum deposition and it also tested and analysed its physical feature, and got some useful conclusion.

作者刘明海李晓林

机构地区山西师范大学物理系

出处《山西师大学报（自然科学版）》 1999年第2期24-26,共3页 Journal of Shanxi Teachers University(Natural Science Edition)

关键词真空物理沉积薄膜物理性质铬酸锌电子陶瓷 Physical vacuum deposition (PVD) Film Resistivity Humidity sensitive element

分类号 TQ174.756 [化学工程—陶瓷工业] O484.4 [理学—固体物理]

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