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Ta场发射特性的实验研究

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摘要 本文报道了钽(Ta)场发射尖端的制作方法和场发射特性的实验结果。并与单晶钨(W〔111〕)比较,发现Ta的场发射特性不仅与W〔111〕很相似,而且还别具自己特点。特别是能在6.6×10^(-8)帕(5×10^(-8)托)较低真空下稳定的工作。表明Ta可望成为一种较理想的场发射材料,具有广泛应用和开发前景。
机构地区 云南大学物理系
出处 《微细加工技术》 1990年第4期14-17,共4页 Microfabrication Technology
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