摘要
为了引出稀土离子,采用了一种改进型高频离子源。结构上使用双层石英玻璃的放电室,运用陶瓷法兰,采取新的屏蔽措施并应用等离子体化学技术,引出了一些稀土元素的离子,它们是:Y^+、Ce^+、Sm^+、Tm^+、Dy^+、Gd^+、Nd^+、Er^+等。 改进前后两种源相结合,引出的其他金属离子有:Re^+、W^+、Mo^+、Ta^+、Pt^+、Au^+、Nb^+、Pd^+、Ti^+、V^+、Cr^+、Ni^+、Fe^+、Cu^+、Zn^+、As^+、Ga^+,Ge^+、Se^+、Si^+、Al^+、Mg^+、Be^+、Li^+、Bi^+、In^+、Sn^+、Pb^+、Cd^+等。
出处
《微细加工技术》
1990年第4期10-13,共4页
Microfabrication Technology
基金
国家自然科学基金支持
