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LC—2B型离子注入机的束流光学验算与分析

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摘要 近年来,束流光学方法已被广泛应用于离子注入机的光路设计中。LC-2B型离子注入机是十多年前基于成象光学方法设计的。我们准备用束流光学方法从两方面对它进行验算与分析。
作者 蔡仁康
机构地区 上海科技大学
出处 《微细加工技术》 1990年第4期1-5,共5页 Microfabrication Technology
  • 相关文献

参考文献1

二级参考文献2

  • 1张维忠,中国粒子加速器学会第三次粒子动力学和带电粒子光学学术讨论会会议文集,1987年
  • 2叶铭汉,静电加速器,1965年

共引文献1

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