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LC—2B型离子注入机的束流光学验算与分析
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摘要
近年来,束流光学方法已被广泛应用于离子注入机的光路设计中。LC-2B型离子注入机是十多年前基于成象光学方法设计的。我们准备用束流光学方法从两方面对它进行验算与分析。
作者
蔡仁康
机构地区
上海科技大学
出处
《微细加工技术》
1990年第4期1-5,共5页
Microfabrication Technology
关键词
离子注入机
束流光学
验算
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
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