气相法制备金刚石的新进展

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摘要本文对气相法制备金刚石技术的新发展作了综述,同时介绍了自行设计的低压直流电弧等离子体喷射法装置,并对所制备的金刚石薄膜进行了拉曼光谱及扫描电镜的分析与评价。

作者阎震李荣志朱鹤孙

机构地区北京理工大学材料科学研究中心化学工程系

出处《微细加工技术》 1990年第2期25-30,共6页 Microfabrication Technology

基金本课题系国家新材料专家小组

关键词金刚石气相法制备薄膜

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微细加工技术

1990年第2期

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