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基于超磁致伸缩材料的微位移驱动器特性研究 被引量:10

Research on the Performance of Micro-Displacement Actuator Based Giant Magnetostrictive Material
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摘要 具有立方莱夫斯相结构的Rfe2 赝化合物TbXDy(1- X)Fe2,在室温环境下具有极大的磁致伸缩量,应用这种材料研制的微位移驱动器,具有大位移、高分辨率及大输出力等特点。从驱动器使用角度出发,对这种材料的原理及特性进行了阐述,同时分析了超磁致伸缩驱动器的结构及特性。设计并研制了超磁致伸缩微位移驱动器,通过实验分析,驱动器的位移分辨率达0.5 nm ,行程范围达40 μm ,在精密及超精密加工领域有着广阔的应用前景。 The false compound Tb xDy (1-x) Fe 2 which has the cubic and Laves-phase structure as Rfe2 possesses much larger magnetostrictive in room temperature. The micro-displacement actuator made by this material features large displacement, high-resolution and strong output force.The theory and properties of this material is described from the application point of view,the structure and performance of giant magnetostrictive actuator are also analyzed,and the actuator is designed and manufactured successfully. Experimentally, the resolving power of the actuator is of 0 5nm,the range of displacement is of 40μm. It has potential application in the precision and super precision machining field.
机构地区 哈尔滨工业大学
出处 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第11期1213-1215,共3页 China Mechanical Engineering
关键词 驱动器 磁场 微位移驱动器 超微致伸缩材料 magnetostrictive displacement actuator magnetic field
  • 相关文献

参考文献6

  • 1李勇 尤政 等.-[J].仪器仪表学报,1995,16(1):8-12.
  • 2江田弘 小野间隆.-[J].精密工学会,1991,57(3):532-537.
  • 3小林忠彦 酒井熏.-[J].精密工学会志,1991,57(3):532-537.
  • 4小林忠彦 酒井熏.-[J].精密工学会志,1994,60(12):1695-1698.
  • 5李勇,仪器仪表学报,1995年,16卷,1期,8页
  • 6小林忠彦,精密工学会志,1994年,60卷,12期,1695页

同被引文献68

引证文献10

二级引证文献64

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