半导体生产中掺杂剂的称量系统

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摘要一种半导体生产中掺杂剂的称量系统，它包括：多台电子秤，计算机，打印机，所述的电子秤与计算机之间接串口扩张卡，卡的一端为接口，该接口接电子秤数据传输线，另一端为输出端，该输出端接电脑主机，电子秤与电脑的数据传输采用标准的TCP／IP协议，计算机接带不干胶带的打印机。本系统的优点是：称量准确、快速，可避免不同掺杂剂在称量时产生的交叉污染。

出处《衡器》 2011年第2期54-54,共1页 Weighing Instrument

关键词半导体生产称量系统掺杂剂 TCP/IP协议数据传输线电脑主机电子秤计算机

分类号 TP393 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]

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