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新型气浮垫超精密研磨过程分析与仿真

Analyze and Simulation for Ultra-precision Lapping Process of New Floatation Cushion
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摘要 气浮垫的超研磨过程对研磨质量有决定性的影响,研究气浮垫的研磨过程对于保证气浮垫研磨后的表面质量有重要的意义,文中从运动学和几何学的角度出发,建立了气浮垫精密研磨的轨迹方程,并利用编写计算机程序对其仿真,分析主要工艺参数对气浮垫的表面质量的影响。 The lapping process of the floatation cushion has a significant influence on the lapping quality,therefore it is of great significant to study the path and velocity of lapping process for guaranteeing the lapping quality.In this paper,based on the kinematics and geometry principle,a path equation was established and the computer simulation software was developed for figuring the path curves of the process,and discuss lapping process of the floatation cushion,systematically analyze the effect of the main process parameters for surface uniformity of the floatation cushion.
出处 《机电产品开发与创新》 2011年第1期15-17,共3页 Development & Innovation of Machinery & Electrical Products
基金 陕西省教育厅专项基金项目(09JK484)
关键词 气浮垫 研磨 轨迹曲线 计算机仿真 floatation cushion lapping path curves computer simulation
  • 相关文献

参考文献2

  • 1Y.W. Zhao,L. Chang S.H.Kim. A Mathematical Model for Chemi- cal-Mechanical Polishing based on Formation and Removal of Weakly Bonded Molecular, Species, Wear. 2003.
  • 2董浩.高刚度气浮垫性能研究及应用[D].西安工业大学.2010,5.

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