石英摆片成形工艺研究被引量：4

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摘要介绍了石英摆片磨料喷射加工、超声波加工等成形工艺，并在此基础上，提出了用ＣＷＣＯ２激光器切割石英摆片的新方法，给出了石英摆片激光切割的主要切割参数，并对使用不同成形切割方法切割石英摆片的切割质量，进行了比较和分析。

作者周岩

机构地区哈尔滨工业大学机电学院

出处《航天工艺》 1999年第5期23-27,共5页

基金博士基金

关键词石英摆片磨料喷射超声波激光切割加速度计

分类号 V241.450.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]

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参考文献2

1沈利群.激光切割的进展[J].激光技术,1993,17(4):244-247. 被引量：5
2王实.激光切割机[J].激光杂志,1992,13(4):207-213. 被引量：12

二级参考文献1

1陈和祥.激光切割钛合金工艺试验[J].激光杂志,1990,11(3):144-147. 被引量：2

共引文献14

1阎启,刘丰.工艺参数对激光切割工艺质量的影响[J].应用激光,2006,26(3):151-153. 被引量：36
2邓前松,唐霞辉,秦应雄,彭浩,柳娟.中厚钢板小圆孔的高功率CO_2激光切割工艺研究[J].激光技术,2008,32(5):554-557. 被引量：9
3黄开金,谢长生.激光切割的研究现状及展望[J].激光与光电子学进展,1998,35(4):1-8. 被引量：18
4邓前松,赵辰丰,陈亮,石明国,杨卫红,唐霞辉.基于轨迹变换法降低激光切割尖角“烧蚀率”的研究[J].中国激光,2012,39(8):77-83. 被引量：7
5张广玉,杨乐民,周岩,杨立见.石英敏感元件的非传统加工技术研究进展[J].中国建材科技,2000,9(3):24-27.
6周岩,刘晓胜,杨乐民,郑胜军,张广玉.石英器件加工工艺及最新进展[J].中国机械工程,2000,11(6):668-671. 被引量：8
7武伟超,王永军,张新娟,王俊彪,魏生民.TC4钛合金板材激光切割影响研究[J].兵器材料科学与工程,2013,36(6):35-38. 被引量：4
8尹桂敏,李占国,史尧臣.YAG激光切割不锈钢薄板的工艺参数研究[J].机床与液压,2013,41(23):53-56. 被引量：9
9李祥友,曾晓雁.激光精密切割不锈钢模板割缝质量控制[J].中国激光,2002,29(2):176-180. 被引量：21
10杨博程,刘延辉,孔慧颖,宋阳.中国激光切割专利申请调查分析[J].上海工程技术大学学报,2015,29(2):138-143. 被引量：1

同被引文献13

1周琪.挠性加表摆片批产高精度保证技术[J].航天制造技术,2009(1):22-25. 被引量：1
2周岩,刘晓胜,杨乐民.熔融石英激光切割表面形貌的研究[J].激光杂志,2003,24(3):70-72. 被引量：3
3施平,袁峰,梁志兴,杨乐民,杨秀华.石英摆片加工过程中若干问题的研究[J].哈尔滨工业大学学报,1993,25(6):86-89. 被引量：5
4苏英,贺行洋,余刚.体相与表面缺陷对石英玻璃腐蚀形貌的影响[J].国外建材科技,2007,28(4):46-48. 被引量：1
5袁峰.[D].哈尔滨:哈尔滨工业大学,1988.
6谭定忠.[D].哈尔滨:哈尔滨工业大学,1997.
7魏喜鹏.[D].哈尔滨:哈尔滨工业大学,1996.
8范彦宏,周玉成,李雅克.正交实验法在激光切割工艺参数选取中的应用[J].激光杂志,2008,29(6):83-84. 被引量：11
9王春爱,蔡体菁.挠性加速度计石英摆片的力学分析[J].舰船电子工程,2009,29(3):56-60. 被引量：13
10吕志清,侯正君.线加速度计的现状和发展动向[J].压电与声光,1998,20(5):313-321. 被引量：6

引证文献4

1谭定忠,王启明,曹日起,王叶兰.用于传感器的石英材料制造工艺研究[J].机械工程师,2005(12):58-59. 被引量：1
2于洪宇,朱学毅,李立勇,杨稳.低刚度石英加速度计摆片加工工艺[J].物探与化探,2015,39(B12):44-46.
3王佳佳,邵竹锋,隋梅,王玉芬.石英摆片灵敏度的测试方法研究[J].中国建材科技,2017,26(4):43-45. 被引量：1
4郭亮,淡李多,庹超,吴优.铍制挠性梁结构微细成型试验研究[J].工具技术,2020,54(6):26-31.

二级引证文献2

1许斌,徐凡颖,辛若铭.基于区域灰度梯度差异的摆片基片特征尺寸视觉测量方法[J].仪器仪表学报,2022,43(5):128-135. 被引量：8
2郝宇超,刘洪,张佳悦,郑怡晨,殷振青.石英挠性加速度计摆片特性仿真研究[J].传感器与微系统,2024,43(11):25-27.

1王鸿美,陈雄,赵超,朱国强,杨庆辉.NEPE推进剂激光辐照下点火燃烧性能研究[J].推进技术,2015,36(8):1262-1267. 被引量：14
2王骐,李琦,尚铁梁.激光推进原理与发展状况[J].激光与红外,2003,33(1):3-7. 被引量：7
3赵伟,王海明,侯超.低气压环境对石英挠性加速度计的影响分析[J].真空与低温,2015,21(2):107-112. 被引量：1
4刘垚,轧刚.圆柱圆锥复合型变幅杆的有限元分析[J].机械设计与制造,2013(12):264-266. 被引量：2
5陈一坚,刘建华,胡席远,王春明.激光切割喷嘴及流场分析综述[J].宇航材料工艺,1999,29(2):17-20. 被引量：5
6董菊花.采用丙烷气，确保连铸切割质量[J].中国科技博览,2014(6):78-78.
7长弓.征集模型小窍门[J].航空模型,2013(5):27-27.
8杜翔,彭新建,段爱琴,祁开桃.航空发动机叶形孔的激光切割方法[J].航空工艺技术,1995(A01):26-27. 被引量：1
9虞跨海,杨茜,罗昌金,方坤.涡轮叶片二维冷却结构参数化设计技术研究[J].燃气涡轮试验与研究,2013,26(1):12-15. 被引量：7
10徐嘉,刘秋洪,蔡晋生,屈崑.基于隐式嵌套重叠网格技术的阻力预测[J].航空学报,2013,34(2):208-217. 被引量：12

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