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扫描电镜在微细加工技术中的应用

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摘要微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术，它所涉及的是微米（μｍ）级的加工，现已发展到亚微米（１μｍ以下）和纳米（１ｎｍ）尺寸的加工技术。目前已成为大规模集成电路和微细图案形成必不可少的加工手段。例加在微米、亚微米大规模集成电路（ＶＬＳＩ）中，芯片...

作者阮世池

机构地区电子科技大学材料分析中心

出处《电子元件与材料》 CAS CSCD 1999年第2期27-27,共1页 Electronic Components And Materials

关键词微细加工技术 VLSI 扫描电镜应用

分类号 TN470.5 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN16 [电子电信—物理电子学]

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电子元件与材料

1999年第2期

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