摘要
用面阵ＣＣＤ对刻线进行二维瞄准定位，具有精度高，速度快的优点。本文介绍了亚象素细分定位的原理，瞄准精度的测量方法，以及所能达到的精度。
The two dimension pointing and positioning of etched line with planar array CCD has the advantages of high accuracy and fast spee.The principle of sub pixel subdivision positioning,measuring method for the pointing accuracy and the attainable accuracy are introduced in the paper.
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
1999年第1期23-26,共4页
Opto-Electronic Engineering
关键词
CCD探测器
图象处理
精密刻划
精密定位
CCD detectors,Image processing,Precision ruling,Precision positioning. Classification number TH74
