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基材、添加元素及中间层对DLC膜结构与性能的影响 被引量：4

EffectofSubstrateMaterials,AddedElementsandInterlayersonStructureandPropertiesofDLCFilms
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摘要 扼要地介绍了基体材料、在ＤＬＣ膜中添加元素及各种中间层对ＤＬＣ膜结构与性能影响的研究现状。 Z Therecentresearchdevelopmentabouteffectofsubstratematerials,addedelementsandvariousinterlayersonstructureandpropertiesofDLCfilmswassummarised.
作者 季红兵 夏立芳 马欣新 孙跃
机构地区 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
出处 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 1999年第5期10-13,共4页 Heat Treatment of Metals
关键词 基材 中间层 结构 性能 类金刚石碳膜 substratematerials,interlayers,DLC(DiamondLikeCarbon)films,structure,properties
分类号 TG174.45 [金属学及工艺—金属表面处理] O484.1 [理学—固体物理]
  • 相关文献

参考文献7

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引证文献4

二级引证文献11

金属热处理
1999年 第5期

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