摘要
介绍了压电陶瓷微动机构的性能特点及在超精密车削加工中的多种用途。
The features and applications in superprecision turnings of piezoelectric ceramic inching motion devices are introduced.
出处
《工具技术》
北大核心
1999年第5期24-26,共3页
Tool Engineering
关键词
压电陶瓷
微动机构
超精密车削
piezoelectric ceramic inching motion device superprecision turning