扫描电子显微镜原理及特点被引量：22

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摘要 1扫描电子显微镜成象原理扫描电子显微镜是一种大型分析仪器，它广泛应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。所谓扫描是指在图象上从左到右、从上到下依次对图象象元扫掠的工作过程。它与电视一样是由控制电子束偏转的电子系统来完成的，只是在结构和部件上稍有差异而已。

作者武开业

机构地区榆林市环境监测总站

出处《科技信息》 2010年第29期I0107-I0107,共1页 Science & Technology Information

关键词扫描电子显微镜成象原理表面超微结构大型分析仪器电子束偏转固态物质电子系统图象

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]

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